Substrats MEMS-SOI

Des substrats avancés offrant une précision accrue, des performances mécaniques optimisées et une consommation d’énergie réduite pour des capteurs haute performance.

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MEMS-SOI : optimiser les performances des capteurs

Le MEMS-SOI de Soitec offre aux capteurs haute performance les avantages d'une précision accrue, de performances mécaniques améliorées et d'une consommation d'énergie inférieure à celle des technologies MEMS traditionnelles.

Les capteurs MEMS-SOI bénéficient d'une sensibilité accrue grâce à la réduction du bruit électrique et mécanique, ce qui leur permet de détecter plus efficacement les variations infimes des paramètres mesurés.

La réduction des capacités parasites et l'isolation améliorée offerte par le substrat SOI permettent d'améliorer les temps de réponse des capteurs MEMS. Ils peuvent ainsi réagir plus rapidement aux variations des paramètres mesurés, un atout crucial pour les applications dynamiques.

L’impact du MEMS-SOI sur vos produits

Précision et exactitude accrues

Les substrats SOI offrent un haut degré d'uniformité et de précision dans la fabrication des dispositifs, permettant ainsi d'obtenir des composants MEMS plus homogènes et plus fiables. Ceci est particulièrement important pour les applications exigeant des tolérances strictes et des performances élevées.

Amélioration des performances mécaniques

Le substrat SOI fournit une couche de silicium de haute qualité et à faible contrainte qui améliore les propriétés mécaniques des dispositifs MEMS. Cela permet d'obtenir une meilleure précision, des fréquences de résonance plus élevées et une meilleure stabilité des structures MEMS.

Réduction de la consommation d’énergie

Les dispositifs MEMS-SOI présentent généralement une consommation énergétique inférieure à celle des technologies MEMS traditionnelles. La capacité parasite réduite et la gestion thermique efficace contribuent à réduire les besoins énergétiques, ce qui est avantageux pour les applications portables et alimentées par batterie.

Applications de la technologie MEMS-SOI

Les substrats MEMS-SOI améliorent l'expérience de l'utilisateur dans les lunettes et les casques AR/VR en permettant aux puces de détecter les mouvements en temps réel, de suivre la tête avec précision et d'éliminer les distorsions de l'image pour une expérience plus immersive.
Les substrats MEMS-SOI permettent aux accéléromètres et aux gyroscopes utilisés dans les systèmes d'airbags de détecter une décélération rapide et d'activer instantanément les airbags en cas de collision. Ils prennent également en charge le contrôle de la stabilité, le contrôle de la traction et les systèmes de freinage antiblocage (ABS) en surveillant la dynamique du véhicule.
Les substrats MEMS-SOI permettent des solutions de détection qui sont présentes dans les appareils que nous utilisons tous les jours, tels que les smartphones, les appareils auditifs et les vêtements, où elles permettent une variété de tâches telles que la stabilisation de l'image, les interfaces utilisateur et la gestion de l'énergie.
Les substrats MEMS-SOI permettent aux accéléromètres et aux capteurs de vibrations de surveiller la santé des équipements en détectant les premiers signes d'usure, de désalignement ou de dysfonctionnement. Ces données permettent une maintenance prédictive, réduisant les temps d'arrêt et les coûts de réparation en traitant les problèmes avant qu'ils ne deviennent critiques.

Foire aux questions

Le MEMS-SOI est couramment utilisé dans les capteurs haute performance. Ces capteurs sont utilisés dans un large éventail d'applications, notamment l'IA Edge et l'IoT, l'industrie, l'automobile, la téléphonie mobile et le grand public.

Le MEMS-SOI offre les fonctionnalités essentielles aux capteurs hautes performances en termes de précision supérieure, de temps de réponse plus court, de robustesse mécanique accrue et de consommation d'énergie réduite.

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