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La gamme Soitec Imager SOI™ pour les capteurs d’image rétro-éclairés (BSI)
La gamme Soitec Imager SOI de Soitec a été spécialement mise au point pour répondre aux besoins des dernières applications de capteurs d’image rétro-éclairés (BSI). Elle assure une meilleure sensibilité à la lumière et une taille de pixels réduite. Soitec propose des structures standard et sur mesure, qui exigent une couche de silicium supérieure de plus de 1,5 µm. Les experts de Soitec s’appuient sur plus de vingt ans d’expérience pour vous aider à définir avec précision la structure de couches adaptée aux impératifs de vos dispositifs.
Les produits Soitec Imager SOI de Soitec sont conçus et fabriqués à partir de la technologie avancée Smart Cut™ de Soitec, alliée à la croissance épitaxiale.
Avec la technologie Smart Cut, la couche enterrée d’oxyde des substrats SOI agit comme une couche d’arrêt de gravure incorporée. Elle protège aussi la couche Si active pendant l’amincissement. La grande uniformité obtenue rend ce processus à la fois plus simple et plus fiable.
Les produits Soitec pour capteurs d’image BSI
- Des diamètres de 200 mm et 300 mm
- Une croissance épitaxiale supérieure à 1,5 µm pour les films de silicium plus épais
- Une couche enterrée d’oxyde de 0,5 µm à 1 µm
- Un seuil de contrôle de l’uniformité de 5 % de l’épaisseur de la couche de silicium supérieure
Avantages
- Apprentissage et montée en puissance plus rapides
- Rendements élevés en production de série
- Coût total d’utilisation moindre